超聲波的頻率與空化作用也有關，超聲波頻率越高其空化閾值越大，產生空穴所需的聲壓強度也越大。超聲波頻率低時，產生的空穴大而數量少，爆破力強；超聲波頻率增加時，空穴小而數量多，爆破力小而范圍廣，清洗比較精細。但如果頻率增加到超高頻近1000KHZ時將不再產生空化作用，其清洗能量主要是靠加速度能量，將達到重力加速度的105倍，用于去除亞微米粒子污染。